加工冷却液的主要作用将晶圆的持续温度控制或维持在一定的设置水平,以避免材料损坏的潜在***。
Galden? PFPE HT是一系列沸点为55°C ~ 270°C的导热液,杰出的介电性能、化学稳定性以及可以适应很低及很高工作温度的特点,使之成为半导体和电子行业腐蚀环境中的导热液。
Galden? PFPE HT 液与换热器大多数常用材料具有很好的适应性。Galden? PFPE体系基本上可以免维护,不会有腐蚀***。使用过程中,Galden? PFPE的介电性能不会发生变化,因此不会短路。Galden? PFPE对环境无害,***、不会***。在发生任何溢漏时,不会损坏电子产品。无闪点、着火点和自燃点也是Galden? PFPE HT的额外优点。
Galden? HT PFPE:适应工作温度范围
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