高精度电涡流传感器解决方案
在***控制Z轴高度的过程中,晶片所在的位置必须***地在能源的焦平面上。Kaman系统可以准确测量Z轴的位置,并且提供了模拟和数字两种输出信号,以防止超出可承受范围
高精度电涡流传感器KAMAN ***T-9700系统的高精度和高灵活性使得其成为OEM设备的理想选择。尤其在需要高精度***的领域有着广泛的应用空间。系统符合CE和RoHS标准, 可与13种不同的探头组合,精度可达纳米级。
高精度电涡流传感器特点
1 类型:***T-9700
2 非接触性:应用涡电流的技术,每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
3 高分辨率:系统可分辨出1纳米的位置改变。
4 可重复使用。
5 应用广泛。
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英国真尚有集团
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