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北京微纳通科技有限公司

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北京微纳通科技有限公司为新加坡PLANT&MILLSUPPLIESPTELTD的北京公司,专业代理美国AEROTECH和Airpot气缸全线产品。是Aerotech和Airpot公司在中国的唯一代理,在AEROTECH网站可以直接联接到我们http://www.pmsupplies.com.......

aerotech ABL9000

产品编号:5826408                    更新时间:2014-07-04
价格: ¥12999.00
北京微纳通科技有限公司

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  • 主营业务:运动控制,直线平台,旋转平台,伺服电机
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产品详情

ABL9000气浮平台
1世上***高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.10um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;0.50u

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