1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.25um
平面度&plu***n;0.25um
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.25um
平面度&plu***n;0.25um