1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度&plu***n;1um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;1um
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度&plu***n;1um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;1um