四路质子混气管式pecvd系统

主要部件的功能及其工作原理 
1  电热炉（工艺管） 
  电热炉是***的高可靠性的发热体，是经过特殊工艺制成，它对恒温区的长度、精度以及稳定度提供了基础，是影响成膜速率和均匀性的必要条件之一。工艺管具有口径大、壁厚均匀无气泡的优良性，它水平置于炉体的***，两端配有密封法兰，可生产8英寸圆片、6英寸方片，同时经特殊磨口为真空密封提供可靠保证。 
2  取放舟系统 
  取放舟系统采用软着炉的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，推舟机构将退出，自动门关上。   载片舟是经特殊设计，在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调，再精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关。所以是本设备的核心部件。 
 
3  气路单元 
  气路单元是一个***体，它的所有使用元器件都是进口产品，具有控制***、动作可靠，布局合理，为安全生产提供一个先决条件。
 
4  PLC及计算机控制 
  本台设备PLC做工艺自动控制和安全互锁，计算机提供人机交互，工艺编辑，各种过程实时显示，参数实时时录等。装片取片由人工操作。同时有多种报警系统，如超温报警、断偶报警等。
 
5  真空系统 
  真空系统是本台设备的关键之一，它是由罗茨泵机组、电动调节阀、电磁挡板阀、压力传感器、真空管道等组成。
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