恩科优光刻机产品详细资料：
品牌：恩科优（N&Q）
产地：美国
恩科优光刻机分为半自动和全自动两大系列。其中，N&Q4000系列光刻机是以半自动系统为主。该系统优越的操作性，超高的分辨率，均匀的光学系统，现代***的接近式和接触式光刻及超高的性价比，使恩科优光刻系统已经被***各地众多***企业、研发中心、研究所和高校采用，并成为他们光刻系统的***；
二、技术参数：
1、芯片尺寸：5mm~150mm的圆片/方片和不规则碎片（支持对不规则碎片的特殊卡盘设计）；
2、***波长：350nm-450nm（其它波长可选配）；
3、***灯功率：350W/500W（其它功率可选配）；
4、分辨率：优于0.5um；
5、***模式：支持接近式***，各种接触式（真空接触、软接触、硬接触等）***；
6、出射光强范围：10mW/cm2~55mW/cm2@405nm；
7、支持恒定光强或恒定功率模式；
8、***时间：0.1~999.9s；
9、对准精度：双高清彩色CCD + 双高清彩色监视器，对准精度可达到0.4微米内；
10、掩膜尺寸：2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜转换器)；
关于恩科优光刻机产品信息查询：http://.cn/mycro-Products-5368640/
有关德国Diener等离子清洗机产品请访问：http:///st119375/ml