电容微位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种：变极板间距离的变极距型；改变极板面积的变面积型；还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的电容微位移传感器。
电容微位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
该电容微位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
电容微位移传感器主要特点：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性***高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
真空兼容选项；
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