纳米***台、纳米***平台、纳米平台、纳米***、纳米位移***台
ZSY/OEM-X-10A纳米***台尺寸小，毫秒级响应时间，应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量，高刚度，可以用于极端高的带宽环境。
电容传感器提供了高于纳米级的分辨率，实现在10微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑，运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器，ZSY/OEM-X-10A纳米***台可以实现高于纳米级的响应。
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ZSY/OEM-X-10A纳米***台应用领域 |
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磁头和硬盘测试； |
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干涉测量 |
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ZSY/OEM-X-10A纳米***台推荐控制器 |
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NM3110 |
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ZSY/OEM-X-10A纳米***台主要特点 |
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>10微米运动范围，高于纳米级分辨率； |
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振荡频率>9KHZ； |
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微秒级响应时间； |
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现场扫描和步骤反应***优化； |
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高稳定性； |
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即插即用，低停机时间； |
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