电涡流式传感器测量棱镜的转动幅度
在某种光学仪器上需要用到一个转动达100Hz的棱镜来反射光束,要求精度为10nm,但是为了防止光污染,所以不建议采用一般的激光传感器。根据客户的精度和环境要求我们推荐客户使用电涡流式传感器KD5100。
基于电涡流式传感器KD5100棱镜的转动幅度测量应用
根据实际应用,将棱镜安装在金属铝架上,而作为差动测量的两个探头安装如下示意图所示:
用电涡流传感器KD5100测量棱镜的旋转幅度
然后在现场会有一个驱动棱镜摆动的电机,电机的工作距离探头为100mm,需要认真考虑电机所产生的磁场对探头的影响。
我们推荐的电涡流式传感器KD5100主要参数如下所示:
测量范围:0.089mm
静态分辨率:0.1nm(1x10-7mm)
测量频率:22KHz
供电:&plu***n;15VDC@55mA (建议配厂家电源)
输出:&plu***n;10VDC max
探头工作温度: -52℃~105℃
详情请访问:
英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
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