ZLDS113激光传感器测量半导体平整度
半导体芯片是指在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。半导体芯片不只是硅芯片，常见的还包括***化***，锗等半导体材料。半导体芯片的发明是二十世纪的一项创举，它开创了信息时代的先河。现在“因特网”和“计算机”等已经成为全世界众所周知的词语。而计算机芯片作为计算机的心脏更是为人所熟知，其实无论是“Intel”还是“AMD”芯片，它们在本质上一样，都属于半导体芯片。
半导体芯片
那么作为一个应用这么广泛的产品，其质量控制自然是重中之重，所以半导体芯片的精密测量，也就更加重要和更加广阔的应用，本文将着重对如何利用ZLDS113激光传感器科学检测半导体芯片的平整度作出分析。
应用方案
如上图所示，半导体芯片一般都是在生产线***水线作业，所以将ZLDS113激光传感器安装在固定支架上，实时测量，不合格产品及时剔除。还可以安装多台ZLDS113激光传感器，同步测量，多点扫描平整度。
ZLDS113激光传感器主要特点：
◆分辨率***高可达1um，线性度***高3um；
◆测厚系统：2个传感器成对安装，能自动主从识别，构成在线测厚仪，进行在线厚度、宽度等实时测量,无需控制器；
◆实时可编程功能：数值计算、数字传输速度、模拟设置、滤波器等；
◆可测500℃~2200℃高温物体，进行厚度、宽度、长度、高度、直径、轮廓的精密测量，是冶金行业必备的精密测量仪。
详情请访问：
http://
英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真：0755-26528210/26435640