应用背景:
在超精密加工、微机电系统、生物工程等领域,迫切需要高精度的微运动系统,其核心部件微驱动器是当前研究的热点。在微运动具体实施过程中,对微运动系统驱动器要求的主要参数有:运动范围和运动精度、运动自由度、运动响应。基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器,解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题,可实现高精度微运动。
KAMAN电涡流传感器在微驱动器的设计制造阶段,对运动精度标定和验证是一个必要的环节。
美国KAMAN电涡流传感器KD2306是KD2300的更新产品,KAMAN采用轨导DIN式结构。链条检测体系非常适合集成到OEM设备和工业控制应用中。KAMAN具备***的分辨率和速度性能(0.1um分辨率,50kHz高响应),满足各种实际需求,还可选择延长电缆、温度补偿等特殊需求。
KAMAN电涡流传感器是一种非接触的线性化计量工具,具备***的分辨率和速度性能,满足各种实际需求。
解决方案:
KAMAN传感器KD-2306电涡流传感器,采用非接触式测量,分辨率可以达到0.1μm。
主要特点
- 高分辨率和高采样率;
- 可自行调整零位、增益和线性;
- 可选择延长电缆、温度补偿等功能;
- 可测铁磁和非铁磁所有金属材料;
- 具有多传感器同步功能;
不受潮湿、灰尘的影响,对环境要求低;
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