产品用途
气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术资料;
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产品型号 |
KT-C3Z |
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产品类型 |
高精度型/快速响应型/智能控制 触摸屏控制 |
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可选量程 |
20sccm-10slm |
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产品精度 |
&plu***n;1％F.S |
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重复精度 |
&plu***n;0.2% F.S |
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线性 |
&plu***n;1% F.S. |
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响应时间 |
≤4sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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供电电源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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***大功耗 |
40W |
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进气口压 |
≤0.6MPa |
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连接管道 |
φ4-6mm316不锈钢管道 |
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截止阀类型 |
电磁阀 |
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单向阀开启压力 |
0.02Mpa |
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压力显示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸触摸屏智能调节 |
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时间设定 |
0-99999 |
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清洗功能 |
一键清洗 |
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数据导出 |
无 |
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程序控制 |
5段可编程序(时间-流量随意设定值) |
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压力显示 |
有（出气压力检测） |
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气体缓冲罐 |
有 |
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流量累计 |
有（累计当前运行总流量） |
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可选进出气口接头形式 |
3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头 |
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抗电磁干扰 |
无 |
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外形尺寸 |
460X210X480 |
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重量 |
18KG |